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《高功率脉冲磁控溅射PVD设备技术要求》等2项团体标准 启动会顺利召开!

2025-06-20

为进一步规范中国国际科技促进会标准化工作,提高团体标准编制项目水平。2025年6月16日,由中国国际科技促进会标准化工作委员会联合北京通标恒远标准技术服务有限公司共同组织的《高功率脉冲磁控溅射PVD设备技术要求》、《半导体晶圆制造用等离子体刻蚀设备通用技术规范》两项团体标准启动会顺利召开。


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中国国际科技促进会标准化技术委员会专家委员周海辉、标准工作组杨艳春出席了本次会议。北京通标恒远标准技术服务有限公司等40多家单位代表参与了此次团体标准启动会议。


本次会议由北京通标恒远标准技术服务有限公司标准部副主任胡雅丽主持。会上,胡雅丽分别向与会单位介绍了《高功率脉冲磁控溅射PVD设备技术要求》等2项团体标准的相关政策、编制情况、标准工作计划等内容进行汇报说明。旨在确保各参与单位充分了解标准制定的全流程与关键要点,为后续标准的高质量编制与有效实施奠定坚实基础。


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在标准讨论环节,标准部的潘晓敏先后对《高功率脉冲磁控溅射PVD设备技术要求》等2项团体标准文本进行宣读,与会单位代表围绕团体标准的内容进行认真研讨。同时,各单位代表结合自身行业经验和技术专长,就标准的适用性、前瞻性等提供了宝贵意见。


此次会议收集到的宝贵意见和建议,为团体标准的进一步完善提供了重要依据。标准部将认真梳理、吸纳各方意见,对标准文本进行细致修改和优化,确保标准的科学性、适用性和前瞻性。同时,呼吁各单位继续保持密切沟通与协作,共同推动团体标准的制定与实施,为促进高功率脉冲磁控溅射PVD设备行业的技术进步和规范发展贡献力量。随着会议的圆满结束,与会代表们纷纷表示,将积极响应号召,携手共进,共同开创行业发展的新篇章。

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